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100MW產(chǎn)線設(shè)備構(gòu)成示意圖（部分產(chǎn)業(yè)化過程表面清洗完玻璃激光定義下電極）

鈣鈦礦電池發(fā)展過程也是工藝、材料、設(shè)備不斷匹配和優(yōu)化、不斷迭代的過程，目前工藝及設(shè)備尚未定型。

鈣鈦礦單結(jié)電池主要制備工序（以平面異質(zhì)結(jié)NIP結(jié)構(gòu)為例）及對應(yīng)主要設(shè)備

鈣鈦礦電池鈣鈦礦層薄膜濕法主要工藝

鈣鈦礦成膜工藝將先有到優(yōu)，從濕法工藝走向干法工藝。

1）鈣鈦礦濕法工藝中薄膜成長會經(jīng)歷前驅(qū)態(tài)（溶液態(tài)）——晶體成核與生長——晶體生長三個階段。其中成核與生長一旦開始，其自然變化過程將非常迅速，很難控制薄膜表面的全覆蓋及其均勻性、致密性。近年來，學(xué)界通過添加劑工程等手段調(diào)控鈣鈦礦的結(jié)晶動力學(xué)，改變其時間可操作窗口，并通過反溶劑、抽真空、吹風(fēng)刀等后處理措施促進其快速成核以保證薄膜的連續(xù)形態(tài)，并通過低溫長時間退火促進晶體的緩慢再生長。

2）干法工藝中，以雙源氣相沉積為例，是把兩種及以上的固態(tài)前驅(qū)體粉末加熱成氣態(tài)，相遇發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成一種新的材料沉積到基底表面，最終形成一層薄膜。此方法優(yōu)勢在于薄膜均勻且致密，但對其前驅(qū)體含量需要精確控制，同時設(shè)備成本較高。同時此法在疊層電池中，不必對作為底電池的晶硅電池進行拋光，可以形成陷光結(jié)構(gòu)，提高效率。